数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的专用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

技　术　指　标 ：

测量范围	电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；    方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)；  电导率：10-5～105 s/cm；  电阻：10-5～105 Ω；
可测晶片直径	140mmX150mm(配S-2A型测试台)；  200mmX200mm(配S-2B型测试台)；  400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源	电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调
数字电压表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　  分辨力：10μV；  输入阻抗：>1000MΩ；  精度：±0.1% ；  显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标	间距：1±0.01mm；  针间绝缘电阻：≥1000MΩ；  机械游移率：≤0.3%；  探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；  探针压力：5～16 牛顿(总力)；
四探针探头应用参数	(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行)	0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整机测量最大相对误差	(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度	≤5%
计算机通讯接口	并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5  秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。连接电脑使用时带自动测量功  能，自动选择适合样品测试电流量程；
标准使用环境	温度：23±2℃；  相对湿度：≤65%；  无高频干扰；  无强光直射；

配置 四探针测试仪主机、探针台、四探针探头、

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